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原子尺度探针扫描模块超高真空组件

主要配置：

1.超高真空SPM腔体1个；

2.超高真空MBE腔体1个;

3.复合TSP离子泵组2套带控制器;

4.离子规2台；

5.离子规控制器1台

6.分子泵1台

7.干式涡旋泵1台

8.磁力杆1根

9.用于单晶清洁的离子枪1个

技术规格：

1.SPM腔体配备一个连接离子泵的接口，一个连接磁力杆的接口，一个接入样品制备腔接口，一个带有当STM探头位于更换样品位置时用于光学观察的窗口;

2.SPM腔体包含X 射线入射法兰;

3.SPM腔体包含拉曼入射法兰;

4.SPM腔体包含望远镜观察窗口，打光窗口，传样观察窗口;

5.SPM腔体配套 X 射线和拉曼入射法兰的热辐射反射层;

6.MBE腔体配备蒸发源接口，离子泵接口，通往 SPM 腔体以及快速进样室接口；

7.复合TSP离子泵组抽速不小于250L/s；

8.分子泵抽速不小于250L/s；

9.干式涡旋泵抽速不小于15 立方米/小时；

10.腔体200 摄氏度烘烤一周后真空度小于 3*10^-10 mbar；

11.磁力杆行程不小于800mm；

12.离子枪能量可达5 Kev

付款方式：合同签订后预付90%货款，货到验收合格后支付10%尾款。

*质保期：验收后1年

*其它商务服务要求：

1.仪器安装后，安装工程师为用户提供现场培训。内容包括仪器原理、使用方法及日常维护方法等。

2.保修期结束后，保证长期供应零备件以及正常的售后服务。

3.公司需承诺保证必要的零备件库。有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师，可保障客户系统的正常使用。

注：*标注要求必须满足，无法满足者，做无效处理。

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合同生效后12个月

90万元（人民币）

注：

报价超出预算金额，视为无效。